КАЛУЖСКИЙ ФИЛИАЛ МОСКОВСКОГО
ГОСУДАРСТВЕННОГО ТЕХНИЧЕСКОГО
УНИВЕРСИТЕТА ИМЕНИ Н.И. БАУМАНА
Р Е Ф Е Р А Т
по НИРС
Возможно вы искали - Реферат: Математическое моделирование технологического процесса изготовления ТТЛ-инвертора
ЛИТОГРАФИЯ ВЫСОКОГО
РАЗРЕШЕНИЯ В ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ
Выполнил : Тимофеев А.
гр. ФТМ-61
Руководитель: Головатый Ю.П.
Похожий материал - Реферат: Машиноведение
г. Калуга, 1996 г.
Содержание.
стр.
1. Фотолитография. 3
1.1 Ведение. 3
Очень интересно - Реферат: Машиностроительные материалы
1.2 Основы оптики. 5
1.3 Контактная печать и печать с зазором. 8
1.4 Проекционная печать. 10
1.5 Совмещение. 12
1.6 Фотошаблоны. 13
Вам будет интересно - Реферат: Моделирование напряженно-деформированного состояния деталей при дорновании
1.7 Перспективы развития фотолитографии. 14
2. Электронно-лучевое экспонирование. 15
2.1 Введение. 15
2.2 Характеристики электронно-лучевых установок. 17
2.3 Поглощение излучения высоких энергий. 20
Похожий материал - Реферат: Мягкая игрушка КОЛОБОК
2.4 Производительность систем ЭЛ экспонирования. 20
2.5 Радиационные резисты. 22
2.6 Оборудование для ЭЛ экспонирования. 23
2.7 Совмещение. 27