Фоторезист — ФП383.
Установка ХБС.
5.2. Совмещение экспонирования пластин ЭМ — 576А.
5.3. Проявление фоторезиста.
Проявитель — едкий калий.
Возможно вы искали - Реферат: Производство топленых животных жиров
5.4. Дубление фоторезиста.
Установки “Лада”.
5.5. Травление окисной пленки.
Буферный травитель.
5.6. Контроль.
Похожий материал - Доклад: Железные дороги в России
6. Ионное легирование.
Бор 1. “Карман”. Установка “Лада 30”.
7. Снятие фоторезиста.
7.1. Плазма. Установка “08 ПХО 100Т-001”
7.2. Смесь Каро.
Очень интересно - Реферат: Разработка и внедрение технологического процесса по изготовлению женской одежды пальтово-костюмн
8. Химическая обработка.
9. Разгонка бора. “Карман”.
Температура 1200О С. О2 +азот.
10. Вторая фотолитография.
Формирование областей сток- исток р-канальных транзисторов и р+ -охраны.
Вам будет интересно - Курсовая работа: Автоматизация холодильного оборудования
11. Ионное легирование.
Бор 2 . Сток- исток. Установка “Везувий-3М”.
12. Снятие фоторезиста.
Плазма и смесь Каро.
13. Химическая обработка.
Похожий материал - Реферат: Разработка технологии горячей объёмной штамповки детали цапфы правой
14. Разгонка бора. Сток- исток.
Температура 1000О С, О2 +пар.
15. Третья фотолитография.
Формирование областей сток- истока n-канальных транзисторов и n+ -охраны.