Считается, что в случае столкновения молекул (частиц) с электронами ионизация молекул (частиц) начинается с момента, как только энергия электронов превысит потенциал ионизации. Максимальная эффективность ионизации для молекул CO, NO, O2, C2H2, H2 и других достигается при энергии электронов примерно 100 эВ.В случае столкновения с атомами и ионами критическая энергия, при которой начинается ионизация, выше, чем в случае столкновения с электронами. При этом максимум ионизации наблюдается при энергиях порядка 103...104 эВ.