Реферат: Методика измерения перемещений при помощи лазерных интерферометров

С О Д Е Р Ж А Н И Е

Стр.

1.Принципы измерения расстояний и линейных перемещений....................3

2 Описание принципа работы и оптических схем интерферометров

со счетом полос..............................................................................................5

2.1 Интерферометр со счетом полос на основе квадратурных сигналов........5

2.Интерферометр со счетом полос на основе частотной модуляции............7

3 Исследование погрешности измерения перемещений................................10

1.Анализ основных состовляющих погрешности измерения

перемещений...................................................................................................10

3.2 Исследование погрешности показателя преломления воздуха...................11

3.Определение погрешности измерения расстояния......................................12

3.4 Определение положения ближней и дальней зоны.....................................14

ПРИЛОЖЕНИЯ......................................................................................................15

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ ....................................................................................25

1. Принципы измерения расстояний и линейных перемещений

Обобщенная схема измерения расстояний и линейных перемещений

посредством ЛИС на основе двухлучевого интерферометра изображена

на рис. 1а.

Рассматривая принципы и методы измерения, излучение лазера 1

будем считать идеальной плоской волной.

Интерферометр, состоящий из светоделителя 2, опорного отра-

жателя 3 и измерительного отражателя 4, настроен на бесконечно

широкую полосу. Интенсивность интерференционного сигнала I на фо-

топриемнике 5 изменяется по закону (рис. 1б)

I=I₀ +I_~ * COS (4pL/l), (1)

где I₀ и I_~ - постоянная составляющая и амплитуда переменной сос-

тавляющей сигнала соответственно; 2L - геометрическая разность